热式气体质量流量计是依据吸收热的速度直接与质量流量相关的原理，该仪表的传感器由两个基准级热电阻 ( 铂 RTD) 组成。一个是质量速度传感器 T1 ，一个是测量气体温度变化的温度传感器 T2 。当这两个 RTD 置于被测气体中时，其中传感器 T1 被加热到气体温度以上的一个恒定的温差，另一个传感器 T2 用于感应被测气体温度。随着气体质量流速的增加，气流带走更多热量 , 传感器 T1 的温度下降，要维持 T1 、 T2 恒定的温度差， T1 的加热功率就要增大。根据热效应的金氏定律。移动的气体分子撞击热电阻时吸收带走热量，流量越大，接触热电阻的分子越多，吸收的热量越多，热吸收与某种气体的分子数，热学特性和流动特性有关。加热功率 P 、温度差 △ T （ T1-T2 ）与质量流量 Q 有确定的数学关系式。
P/ △ T=K1+K2 f(Q)K3
K1 、 K2 、 K3 是与气体物理性质有关的常数。
热式气体质量流量计区别于其它气体流量计，不需要进行压力和温度修正，直接测量气体的质量流量，是真正的直接式质量流量计，一支传感器可以做到量程从极低到高量程。
特点：
测量气体质量流量，无需温度、压力补偿。
量程比大，测量流速范围：0.1Nm/s～100Nm/s。
适用已知截面积的任意形状管道。
耐腐蚀型传感器，适合测量腐蚀性气体。
全量程段的算法，适于贸易结算。
可以完成工艺管道的检漏及设备工作。
施工量极小，由于采用插入式结构，可以在线安装和维护。
基地式仪表可以就地显示和带报警控制。